Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук

Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук

Бібліографічні деталі
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук.— 2014.— [С. 144-146]
Автор:	Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
Співавтор:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)
Інші автори:	Мухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович (научный руководитель), Сурменев Р. А. Роман Анатольевич
Резюме:	Заглавие с экрана In this study characteristics of RF-magnetron discharge as temperature of electrons, plasma density and electrons speed were investigated by a Langmuir double probe. The goal was to find out the dependence between different deposition modes and RF-magnetron plasma parameters.
Мова:	Російська
Опубліковано:	2014
Серія:	Физика
Предмети:	электронный ресурс труды учёных ТПУ характеристика плазма высокочастотные разряды магнетронные разряды распыление мишени гидроксиапатит
Онлайн доступ:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C21/041.pdf
Формат:	Електронний ресурс Частина з книги
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=606790

Схожі ресурси

Исследование влияния парциального давления на спектральный состав и процесс распыления реактивного магнетронного разряда плазмы при распылении мишени титана; Перспективы развития фундаментальных наук
за авторством: Сунь Чжилэй
Опубліковано: (2014)

Исследование плазмы ВЧ-разряда при распылении ГА мишени с использованием зонда Ленгмюра; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
за авторством: Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
Опубліковано: (2014)

Покрытия, сформированные методом ВЧ-магнетронного распыления мишени из кремнийзамещенного гидроксиапатита; Современные техника и технологии; Т. 2
за авторством: Сурменева М. А. Мария Александровна
Опубліковано: (2009)

Физико-механические характеристики ВЧ-магнетронных покрытий на основе серебросодержащего гидроксиапатита; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 10
Опубліковано: (2013)

Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана; Современные техника и технологии; Т. 3
за авторством: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Опубліковано: (2010)

Исследование структуры покрытий, сформированных ВЧ-магнетронным распылением мишени из кремнийзамещённого гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
за авторством: Грубова И. Ю. Ирина Юрьевна
Опубліковано: (2009)

Исследование параметров плазмы реактивного магнетронного разряда с помощью зонда Ленгмюра; Перспективы развития фундаментальных наук
за авторством: Чжилей С.
Опубліковано: (2015)

Модифицирование полимеров медицинского назначения методом ВЧ-магнетронного напыления; Перспективы развития фундаментальных наук
за авторством: Богомолова Н. Н. Наталья Николаевна
Опубліковано: (2013)

Исследование пространственного распределения электрического потенциала в задаче построения феноменологической модели магнетронного разряда; Электроэнергетика, электротехнические системы и комплексы
Опубліковано: (2003)

Исследование молекулярного и элементного состава покрытий, полученных ВЧ-магнетронным распылением мишени из кремнийзамещённого гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
за авторством: Конищев М. Е. Максим Евгеньевич
Опубліковано: (2009)

Исследование плазмы реактивного магнетронного разряда в трехкомпонентной газовой среде зондовым методом; Приборы и техника эксперимента; № 6
Опубліковано: (2016)

Зависимость режимов осаждения оксида титана от параметров источника питания МРС; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
за авторством: Андреева М. А.
Опубліковано: (2016)

Диспергирование вязких жидкостей в условиях плазмы ВЧ факельного разряда; Физико-технические проблемы атомной энергетики и промышленности (производство, наука, образование)
за авторством: Каренгин А. Г.
Опубліковано: (2004)

Физика газового разряда: межвузовский сборник
Опубліковано: (Казань, КАИ, 1988)

Электромагнитное поле высокочастотного ёмкостного разряда в ближней зоне его излучения; Физико-технические проблемы атомной энергетики и промышленности
за авторством: Власов В. А. Виктор Алексеевич
Опубліковано: (2005)

Определение характеристик электромагнитной волны, распространяющейся в плазме высокочастотного факельного разряда; Современные техника и технологии; Т. 2
за авторством: Луценко Ю. Ю. Юрий Юрьевич
Опубліковано: (2004)

Анализ физико-механических свойств покрытий, сформированных ВЧ-магнетронным распылением мишени из кремнийзамещённого гидроксиапатита; Современные техника и технологии; Т. 2
за авторством: Грубова И. Ю. Ирина Юрьевна
Опубліковано: (2012)

Влияние типа мишени магнетронного диода на оптические свойства плёнок кремния; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
за авторством: Бельгебаева Д. Е.
Опубліковано: (2019)

Амплитудная модуляция высокочастотного факельного разряда как способ управления параметрами плазмы: научный отчет
Опубліковано: (Томск, Из-во ТПИ, 1976)

Влияние запыления на процесс горения высокочастотногофакельного разряда; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
за авторством: Мискун И. А. Иван Александрович
Опубліковано: (2013)

Определение ёмкости высокочастотного факельного разряда; Физико-технические проблемы атомной энергетики и промышленности
за авторством: Власов В. А. Виктор Алексеевич
Опубліковано: (2007)

Исследование физико-механических свойств биосовместимых покрытий на основе серебросодержащего гидроксиапатита, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
за авторством: Сыромотина Д. С.
Опубліковано: (2013)

Особенности процесса распространения электромагнитных волн различных частот вдоль канала высокочастотного факельного разряда; Физико-технические проблемы атомной энергетики и промышленности (производство, наука, образование)
за авторством: Власов В. А. Виктор Алексеевич
Опубліковано: (2004)

Кальцийфосфатные мишени для ВЧ магнетронного распыления биопокрытий; Иерархические материалы: разработка и приложения для новых технологий и надежных конструкций
Опубліковано: (2019)

Воздействие лазерного и ВЧ-излучений на воздушную среду: Монография
Опубліковано: (Новосибирск, Наука, 1992)

Зависимость свойств магнетронных Са-Р покрытий, сформированных из плазмы ВЧ-разряда, от параметров напыления; Физика и химия обработки материалов; № 4
Опубліковано: (2010)

Аппаратура и методы исследований плазмы В.Ч. разрядов: материалы семинара ВДНХ
Опубліковано: (Томск, Изд-во Томского ун-та, 1976)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
за авторством: Рогожников Д. С.
Опубліковано: (2016)

Исследование распределения водорода в титановом сплаве ВТ1-0 методом оптической спектрометрии высокочастотного тлеющего разряда; Перспективы развития фундаментальных наук
за авторством: Николаева А. Н.
Опубліковано: (2013)

Плазмохимический синтез биопокрытий из абляционной плазмы, создаваемой облучением мишени из гидроксиапатита мощными ионными пучками; Новые технологии создания и применения биокерамики в восстановительной медицине
за авторством: Волокитина Т. Л. Татьяна Леонидовна
Опубліковано: (2013)

Смачиваемость поверхности тонких пленок на основе силикатсодержащего гидроксиапатита, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 10
Опубліковано: (2013)

Особенности формирования структуры ВЧ-магнетронных покрытий на основе серебросодержащего гидроксиапатита; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 12/2
Опубліковано: (2013)

Радиальное распределение компонент электромагнитного поля высокочастотного емкостного разряда; Современные техника и технологии; Т. 3
за авторством: Мискун И. А. Иван Александрович
Опубліковано: (2012)

Остеогенный потенциал покрытий на основе гидроксиа-патита, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
за авторством: Грибенников М. В.
Опубліковано: (2013)

Физика тлеющего разряда
за авторством: Кудрявцев А. А.
Опубліковано: (Санкт-Петербург, Лань, 2022)

Исследование физико-химических и биологических свойств кальцийсфосфатных покрытий, созданных методом ВЧ-магнетронного распыления кремнийзамещенного гидроксиапатита; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 9
Опубліковано: (2011)

Определение электрических макропараметров высокочастотного факельного разряда; Современные техника и технологии; Т. 2
за авторством: Золотарь Д. Ю.
Опубліковано: (2006)

Phenomenological Model of Dc Magnetron Discharge; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
Опубліковано: (2004)

Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов; Современные техника и технологии; Т. 3
за авторством: Жукова М. А.
Опубліковано: (2007)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
за авторством: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Опубліковано: (Томск, 2018)