Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита

Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита

Bibliographic Details
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of fundamental sciences development: сборник научных трудов XI Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 22-25 апреля 2014 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. Е. А. Вайтулевич. [С. 144-146].— , 2014
Main Author:	Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)
Other Authors:	Мухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович (727), Сурменев Р. А. Роман Анатольевич
Summary:	Заглавие с экрана In this study characteristics of RF-magnetron discharge as temperature of electrons, plasma density and electrons speed were investigated by a Langmuir double probe. The goal was to find out the dependence between different deposition modes and RF-magnetron plasma parameters.
Published:	2014
Series:	Физика
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ характеристика плазма высокочастотные разряды магнетронные разряды распыление мишени гидроксиапатит
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C21/041.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=606790

Internet

http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C21/041.pdf