|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
606790 |
| 005 |
20260305142122.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\conf\4169
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\conf\4167
|
| 090 |
|
|
|a 606790
|
| 100 |
|
|
|a 20140617d2014 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита
|d Research of the characteristics of rf-magnetron discharge plasma by sputtering of target based on hydroxyapatite
|f Е. С. Мельников, Т. М. Мухаметкалиев
|g науч. рук. Р. А. Сурменев
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 215 |
|
|
|a 1 файл(511 Кб)
|
| 225 |
1 |
|
|a Физика
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с экрана
|
| 320 |
|
|
|a [Библиогр.: с. 146 (5 назв.)]
|
| 330 |
|
|
|a In this study characteristics of RF-magnetron discharge as temperature of electrons, plasma density and electrons speed were investigated by a Langmuir double probe. The goal was to find out the dependence between different deposition modes and RF-magnetron plasma parameters.
|
| 337 |
|
|
|a Adobe Reader
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\conf\3586
|t Перспективы развития фундаментальных наук
|l Prospects of fundamental sciences development
|o сборник научных трудов XI Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 22-25 апреля 2014 г.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. Е. А. Вайтулевич
|v [С. 144-146]
|d 2014
|
| 510 |
1 |
|
|a Research of the characteristics of rf-magnetron discharge plasma by sputtering of target based on hydroxyapatite
|z eng
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a характеристика
|
| 610 |
1 |
|
|a плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a высокочастотные разряды
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронные разряды
|
| 610 |
1 |
|
|a распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a мишени
|
| 610 |
1 |
|
|a гидроксиапатит
|
| 700 |
|
1 |
|a Мельников
|b Е. С.
|c физик
|c лаборант Томского политехнического университета
|f 1992-
|g Евгений Сергеевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34111
|9 17651
|
| 701 |
|
1 |
|a Мухаметкалиев
|b Т. М.
|c физик
|c инженер-исследователь Томского политехнического университета
|f 1991-
|g Тимур Мухамедрашидович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\32477
|9 16425
|
| 702 |
|
1 |
|a Сурменев
|b Р. А.
|c физик
|c старший научный сотрудник Томского политехнического университета, доцент, кандидат физико-математических наук
|f 1982-
|g Роман Анатольевич
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|b Физико-технический институт (ФТИ)
|b Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\18726
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20101016
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160607
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C21/041.pdf
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
