Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук

Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук

Détails bibliographiques
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук.— 2014.— [С. 144-146]
Auteur principal: Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
Collectivité auteur: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)
Autres auteurs: Мухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович (научный руководитель), Сурменев Р. А. Роман Анатольевич
Résumé:Заглавие с экрана
In this study characteristics of RF-magnetron discharge as temperature of electrons, plasma density and electrons speed were investigated by a Langmuir double probe. The goal was to find out the dependence between different deposition modes and RF-magnetron plasma parameters.
Langue:russe
Publié: 2014
Collection:Физика
Sujets:
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
характеристика
плазма
высокочастотные разряды
магнетронные разряды
распыление
мишени
гидроксиапатит
Accès en ligne:http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C21/041.pdf
Format: Électronique Chapitre de livre
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=606790
Description
Description matérielle:1 файл(511 Кб)
Résumé:Заглавие с экрана
In this study characteristics of RF-magnetron discharge as temperature of electrons, plasma density and electrons speed were investigated by a Langmuir double probe. The goal was to find out the dependence between different deposition modes and RF-magnetron plasma parameters.

Documents similaires