Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита

Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита

التفاصيل البيبلوغرافية
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of fundamental sciences development: сборник научных трудов XI Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 22-25 апреля 2014 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. Е. А. Вайтулевич. [С. 144-146].— , 2014
المؤلف الرئيسي: Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
مؤلف مشترك: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)
مؤلفون آخرون: Мухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович (727), Сурменев Р. А. Роман Анатольевич
الملخص:Заглавие с экрана
In this study characteristics of RF-magnetron discharge as temperature of electrons, plasma density and electrons speed were investigated by a Langmuir double probe. The goal was to find out the dependence between different deposition modes and RF-magnetron plasma parameters.
منشور في: 2014
سلاسل:Физика
الموضوعات:
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
характеристика
плазма
высокочастотные разряды
магнетронные разряды
распыление
мишени
гидроксиапатит
الوصول للمادة أونلاين:http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C21/041.pdf
التنسيق: الكتروني فصل الكتاب
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=606790
الوصف
وصف مادي:1 файл(511 Кб)
الملخص:Заглавие с экрана
In this study characteristics of RF-magnetron discharge as temperature of electrons, plasma density and electrons speed were investigated by a Langmuir double probe. The goal was to find out the dependence between different deposition modes and RF-magnetron plasma parameters.

مواد مشابهة