Закономерности структурообразования пленок CO, полученных методом CVD из диимината кобальта, в зависимости от температурных условий осаждения

Bibliographic Details
Parent link:Современное состояние и проблемы естественных наук: сборник трудов Всероссийской научно-практической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Юрга, 17-18 апреля 2014 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Юргинский технологический институт (филиал) (ЮТИ), Кафедра естественного научного образования (ЕНО) ; под ред. Е. В. Полицинского и др.. [С. 48-51].— , 2014
Main Author: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Other Authors: Доровских С. И.
Summary:Заглавие с титульного экрана
Language:Russian
Published: 2014
Series:Актуальные проблемы физики
Subjects:
Online Access:http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C68/014.pdf
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=605985

MARC

LEADER 00000naa2a2200000 4500
001 605985
005 20231101132359.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\conf\3348 
035 |a RU\TPU\conf\3340 
090 |a 605985 
100 |a 20140513d2014 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a y z 101zy 
135 |a drcn ---uucaa 
181 0 |a i  
182 0 |a b 
200 1 |a Закономерности структурообразования пленок CO, полученных методом CVD из диимината кобальта, в зависимости от температурных условий осаждения  |f Р. Р. Хайруллин, С. И. Доровских 
203 |a Текст  |c электронный 
225 1 |a Актуальные проблемы физики 
230 |a 1 компьютерный файл (pdf; 491 Кб) 
300 |a Заглавие с титульного экрана 
320 |a [Библиогр.: с. 51 (5 назв.)] 
337 |a Adobe Reader 
463 0 |0 (RuTPU)RU\TPU\conf\3116  |t Современное состояние и проблемы естественных наук  |o сборник трудов Всероссийской научно-практической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Юрга, 17-18 апреля 2014 г.  |f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Юргинский технологический институт (филиал) (ЮТИ), Кафедра естественного научного образования (ЕНО) ; под ред. Е. В. Полицинского и др.  |v [С. 48-51]  |d 2014 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
610 1 |a электронный ресурс 
610 1 |a структурообразование 
610 1 |a пленки 
610 1 |a кобальт 
610 1 |a дииминат кобальта 
610 1 |a температурные условия 
610 1 |a осаждение 
610 1 |a CVD-метод 
700 1 |a Хайруллин  |b Р. Р.  |c специалист в области материаловедения  |c инженер Томского политехнического университета  |f 1992-  |g Рустам Равильевич  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\32861 
701 1 |a Доровских  |b С. И. 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20141021  |g RCR 
856 4 |u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C68/014.pdf 
942 |c BK