Закономерности структурообразования пленок CO, полученных методом CVD из диимината кобальта, в зависимости от температурных условий осаждения

Bibliographic Details
Parent link:	Современное состояние и проблемы естественных наук: сборник трудов Всероссийской научно-практической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Юрга, 17-18 апреля 2014 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Юргинский технологический институт (филиал) (ЮТИ), Кафедра естественного научного образования (ЕНО) ; под ред. Е. В. Полицинского и др.. [С. 48-51].— , 2014
Main Author:	Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Other Authors:	Доровских С. И.
Summary:	Заглавие с титульного экрана
Published:	2014
Series:	Актуальные проблемы физики
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс структурообразование пленки кобальт дииминат кобальта температурные условия осаждение CVD-метод
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C68/014.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=605985

Internet