Исследование скоростей роста медных покрытий при различных методах магнетронного распыления
| Parent link: | Высокие технологии в современной науке и технике: сборник научных трудов III Международной научно-технической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 26-28 марта 2014 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ). [С. 34-38].— , 2014 |
|---|---|
| Altri autori: | , , , |
| Riassunto: | Заглавие с титульного экрана |
| Pubblicazione: |
2014
|
| Serie: | Пучково-плазменные и электроразрядные технологии |
| Soggetti: | |
| Accesso online: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/21129 http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C17/007.pdf |
| Natura: | Elettronico Capitolo di libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=605575 |
| Riassunto: | Заглавие с титульного экрана |
|---|