Исследование скоростей роста медных покрытий при различных методах магнетронного распыления

書誌詳細
Parent link:	Высокие технологии в современной науке и технике.— 2014.— [С. 34-38]
その他の著者:	Семенов В. А., Тусипов Т. С., Сулейменова Н. Б., Торопцева А. А.
要約:	Заглавие с титульного экрана
言語:	ロシア語
出版事項:	2014
シリーズ:	Пучково-плазменные и электроразрядные технологии
主題:	труды учёных ТПУ электронный ресурс скорости рост медные покрытия магнетронное распыление
オンライン･アクセス:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/21129 http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C17/007.pdf
フォーマット:	電子媒体図書の章
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=605575

インターネット