Исследование скоростей роста медных покрытий при различных методах магнетронного распыления; Высокие технологии в современной науке и технике

Бібліографічні деталі
Parent link:	Высокие технологии в современной науке и технике.— 2014.— [С. 34-38]
Інші автори:	Семенов В. А., Тусипов Т. С., Сулейменова Н. Б., Торопцева А. А.
Резюме:	Заглавие с титульного экрана
Мова:	Російська
Опубліковано:	2014
Серія:	Пучково-плазменные и электроразрядные технологии
Предмети:	труды учёных ТПУ электронный ресурс скорости рост медные покрытия магнетронное распыление
Онлайн доступ:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/21129 http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C17/007.pdf
Формат:	Електронний ресурс Частина з книги
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=605575

Інтернет