|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
605574 |
| 005 |
20240115134518.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\conf\2886
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\conf\2885
|
| 090 |
|
|
|a 605574
|
| 100 |
|
|
|a 20140421d2014 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 101zy
|
| 135 |
|
|
|a drnn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Баланс энергии на подложке при осаждении модифицирующих покрытий с использованием мощных импульсных ионных пучков
|f А. В. Симонова, Г. А. Блейхер
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 225 |
1 |
|
|a Пучково-плазменные и электроразрядные технологии
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 320 |
|
|
|a [Библиогр.: с. 34 (4 назв.)]
|
| 337 |
|
|
|a Adobe Reader
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\conf\2834
|t Высокие технологии в современной науке и технике
|o сборник научных трудов III Международной научно-технической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 26-28 марта 2014 г.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|v [С. 29-34]
|d 2014
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a энергия
|
| 610 |
1 |
|
|a подложки
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a модифицирующие покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a импульсные пучки
|
| 610 |
1 |
|
|a ионные пучки
|
| 700 |
|
1 |
|a Симонова
|b А. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Блейхер
|b Г. А.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1961-
|g Галина Алексеевна
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28948
|9 13681
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|b Физико-технический институт (ФТИ)
|b Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ)
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\18735
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20210421
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/21121
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C17/006.pdf
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
