Баланс энергии на подложке при осаждении модифицирующих покрытий с использованием мощных импульсных ионных пучков

Bibliographic Details
Parent link:	Высокие технологии в современной науке и технике.— 2014.— [С. 29-34]
Main Author:	Симонова А. В.
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ)
Other Authors:	Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Summary:	Заглавие с титульного экрана
Language:	Russian
Published:	2014
Series:	Пучково-плазменные и электроразрядные технологии
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс энергия подложки осаждение модифицирующие покрытия импульсные пучки ионные пучки
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/21121 http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C17/006.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=605574

Internet