Тонкие пленки диоксида титана как просветляющий слой для низкоэмисионного покрытия; Перспективы развития фундаментальных наук

Detalles Bibliográficos
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук.— 2013.— [С. 1011-1013]
Autor Principal: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Autor Corporativo: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ)
Outros autores: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич (научный руководитель)
Summary:Заглавие с экрана
Titanium dioxide (TiO2) thin films were obtained using a dual magnetron sputtering system. In this report we discuss technological possibilities to use TiO2 thin films as an antireflective coating. The experimental samples were characterized by spectrophotometry and ellipsometry methods. The main result is evaluation optical properties TiO2 thin films at different depositions modes.
Idioma:ruso
Publicado: 2013
Series:У.М.Н.И.К.
Subjects:
Acceso en liña:http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2013/C21/345.pdf
Formato: Electrónico Capítulo de libro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=604010