Тонкие пленки диоксида титана как просветляющий слой для низкоэмисионного покрытия; Перспективы развития фундаментальных наук

Bibliographic Details
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук.— 2013.— [С. 1011-1013]
Main Author: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ)
Other Authors: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич (научный руководитель)
Summary:Заглавие с экрана
Titanium dioxide (TiO2) thin films were obtained using a dual magnetron sputtering system. In this report we discuss technological possibilities to use TiO2 thin films as an antireflective coating. The experimental samples were characterized by spectrophotometry and ellipsometry methods. The main result is evaluation optical properties TiO2 thin films at different depositions modes.
Language:Russian
Published: 2013
Series:У.М.Н.И.К.
Subjects:
Online Access:http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2013/C21/345.pdf
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=604010