Тонкие пленки диоксида титана как просветляющий слой для низкоэмисионного покрытия
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of fundamental sciences development: сборник научных трудов X Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2013 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; ред. коллегия Е. А. Вайтулевич ; Г. А. Лямина ; Г. А. Воронова ; М. Е. Семенов ; А. В. Устинов ; Н. С. Пушилина. [С. 1011-1013].— , 2013 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | |
| Summary: | Заглавие с экрана Titanium dioxide (TiO2) thin films were obtained using a dual magnetron sputtering system. In this report we discuss technological possibilities to use TiO2 thin films as an antireflective coating. The experimental samples were characterized by spectrophotometry and ellipsometry methods. The main result is evaluation optical properties TiO2 thin films at different depositions modes. |
| Language: | Russian |
| Published: |
2013
|
| Series: | У.М.Н.И.К. |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2013/C21/345.pdf |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=604010 |