Тонкие пленки диоксида титана как просветляющий слой для низкоэмисионного покрытия

Bibliographic Details
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of fundamental sciences development: сборник научных трудов X Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2013 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; ред. коллегия Е. А. Вайтулевич ; Г. А. Лямина ; Г. А. Воронова ; М. Е. Семенов ; А. В. Устинов ; Н. С. Пушилина. [С. 1011-1013].— , 2013
Main Author: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ)
Other Authors: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич (727)
Summary:Заглавие с экрана
Titanium dioxide (TiO2) thin films were obtained using a dual magnetron sputtering system. In this report we discuss technological possibilities to use TiO2 thin films as an antireflective coating. The experimental samples were characterized by spectrophotometry and ellipsometry methods. The main result is evaluation optical properties TiO2 thin films at different depositions modes.
Language:Russian
Published: 2013
Series:У.М.Н.И.К.
Subjects:
Online Access:http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2013/C21/345.pdf
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=604010

MARC

LEADER 00000naa2a2200000 4500
001 604010
005 20240215100048.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\conf\1260 
035 |a RU\TPU\conf\1258 
090 |a 604010 
100 |a 20140214d2013 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 101zy 
135 |a drcn ---uucaa 
181 0 |a i  
182 0 |a b 
200 1 |a Тонкие пленки диоксида титана как просветляющий слой для низкоэмисионного покрытия  |d Titanium dioxide thin films as antireflective layer for low-emission coating  |f Д. В. Сиделёв  |g науч. рук. Ю. Н. Юрьев 
203 |a Текст  |c электронный 
215 |a 1 файл(441 Кб) 
225 1 |a У.М.Н.И.К. 
300 |a Заглавие с экрана 
320 |a [Библиогр.: с. 1013 (6 назв.)] 
330 |a Titanium dioxide (TiO2) thin films were obtained using a dual magnetron sputtering system. In this report we discuss technological possibilities to use TiO2 thin films as an antireflective coating. The experimental samples were characterized by spectrophotometry and ellipsometry methods. The main result is evaluation optical properties TiO2 thin films at different depositions modes. 
337 |a Adobe Reader 
463 1 |0 (RuTPU)RU\TPU\conf\715  |t Перспективы развития фундаментальных наук  |l Prospects of fundamental sciences development  |o сборник научных трудов X Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2013 г.  |f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; ред. коллегия Е. А. Вайтулевич ; Г. А. Лямина ; Г. А. Воронова ; М. Е. Семенов ; А. В. Устинов ; Н. С. Пушилина  |v [С. 1011-1013]  |d 2013 
510 1 |a Titanium dioxide thin films as antireflective layer for low-emission coating  |z eng 
610 1 |a электронный ресурс 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
610 1 |a тонкие пленки 
610 1 |a диоксид титана 
610 1 |a просветляющие покрытия 
610 1 |a низкоэмиссионные покрытия 
700 1 |a Сиделёв  |b Д. В.  |c физик  |c инженер кафедры Томского политехнического университета  |f 1991-  |g Дмитрий Владимирович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34510  |9 17891 
702 1 |a Юрьев  |b Ю. Н.  |c специалист в области водородной энергетики  |c заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник  |f 1984-  |g Юрий Николаевич  |4 727 
712 0 2 |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)  |b Физико-технический институт (ФТИ)  |b Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ)  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18735 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20101016 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20230324  |g RCR 
856 4 |u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2013/C21/345.pdf 
942 |c BK