Исследование тонких плёнок оксида алюминия на титане; Перспективы развития фундаментальных наук

Dettagli Bibliografici
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук.— 2013.— [С. 217-219]
Autore principale: Чэнь Ле
Ente Autore: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра общей физики (ОФ)
Altri autori: Ван Ао (научный руководитель), Сыпченко В. С. Владимир Сергеевич, Никитенков Н. Н. Николай Николаевич
Riassunto:Заглавие с экрана
The thin films gained by magnetron sputtering on nanocrystalline specimens of titanium saturated in hydrogen explored by layer-by-layer SIMS and the Thermo-stimulated gas release methods. It is determined: a) as a result of magnetron sputtering are gained the films layer wise nonhomogeneous on chemical composition, b) Titanium can store hydrogen up to what temperature by coating of aluminum oxide, in other words, to determine the temperature at which the destruction of thin films.
Lingua:russo
Pubblicazione: 2013
Serie:Физика
Soggetti:
Accesso online:http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2013/C21/071.pdf
Natura: Elettronico Capitolo di libro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=603648

Documenti analoghi