Исследование тонких плёнок оксида алюминия на титане; Перспективы развития фундаментальных наук

Bibliografiska uppgifter
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук.— 2013.— [С. 217-219]
Huvudupphovsman: Чэнь Ле
Institutionell upphovsman: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра общей физики (ОФ)
Övriga upphovsmän: Ван Ао (научный руководитель), Сыпченко В. С. Владимир Сергеевич, Никитенков Н. Н. Николай Николаевич
Sammanfattning:Заглавие с экрана
The thin films gained by magnetron sputtering on nanocrystalline specimens of titanium saturated in hydrogen explored by layer-by-layer SIMS and the Thermo-stimulated gas release methods. It is determined: a) as a result of magnetron sputtering are gained the films layer wise nonhomogeneous on chemical composition, b) Titanium can store hydrogen up to what temperature by coating of aluminum oxide, in other words, to determine the temperature at which the destruction of thin films.
Språk:ryska
Publicerad: 2013
Serie:Физика
Ämnen:
Länkar:http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2013/C21/071.pdf
Materialtyp: Elektronisk Bokavsnitt
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=603648
Beskrivning
Fysisk beskrivning:1 файл(708 Кб)
Sammanfattning:Заглавие с экрана
The thin films gained by magnetron sputtering on nanocrystalline specimens of titanium saturated in hydrogen explored by layer-by-layer SIMS and the Thermo-stimulated gas release methods. It is determined: a) as a result of magnetron sputtering are gained the films layer wise nonhomogeneous on chemical composition, b) Titanium can store hydrogen up to what temperature by coating of aluminum oxide, in other words, to determine the temperature at which the destruction of thin films.