Влияние конфигурации магнитного поля дуальной МРС на свойства пленок нитрида титана; Перспективы развития фундаментальных наук

Влияние конфигурации магнитного поля дуальной МРС на свойства пленок нитрида титана

Dades bibliogràfiques
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук.— 2013.— [С. 50-52]
Autor principal:	Бутько Я. А. Яна Александровна
Autor corporatiu:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ)
Altres autors:	Сысоева К. С. (научный руководитель), Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Sumari:	Заглавие с экрана In this work the process of deposition of TiN depending on the magnetic field configuration is considered. Also, the dependence of properties of TiN films on the partial pressure of nitrogen in the chamber is shows.
Idioma:	rus
Publicat:	2013
Col·lecció:	Физика
Matèries:	электронный ресурс труды учёных ТПУ конфигурации магнитное поле дуальные отображения МРС-регулирование нитрид титана
Accés en línia:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2013/C21/011.pdf
Format:	Electrònic Capítol de llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=603538

Ítems similars

Осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана с помощью дуальной МРС; Перспективы развития фундаментальных наук
per: Киселева Д. В.
Publicat: (2015)

Исследование режущих свойств объемного поликристаллического нитрида титана; Инновационные технологии и экономика в машиностроении; Т. 1
per: Ким А. Б. Алексей Богович
Publicat: (2014)

Оптимизация магнитного поля дуального магнетрона; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
per: Шелепова М. А.
Publicat: (2009)

Методы ПИД и МРС регулирования системы перевернутого маятника; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
per: Белянина А. С. Алиса Сергеевна
Publicat: (2013)

Нанесение плёнок нитрида титана на легкоплавкие диэлектрические материалы; Изотопы: технологии, материалы и применение
per: Мюсова А. Е.
Publicat: (2021)

Система управления электроэрозионной водоочистной установкой на базе МРС регулятора; Приборы; № 5
per: Надеждин И. С. Игорь Сергеевич
Publicat: (2018)

Локальная структура покрытий на основе нитрида титана; XLV Международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами: ФВЗЧК-2015
Publicat: (2015)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
per: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Publicat: (Томск, [Б. и.], 2016)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
per: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Publicat: (Томск, [Б. и.], 2016)

Технологические особенности дуальной МРС при реактивном осаждении тонких пленок диоксида титана; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
per: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Publicat: (2012)

Магнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
per: Михневич К. С.
Publicat: (2015)

Локальная структура покрытий на основе нитрида титана; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 4
Publicat: (2016)

Применение встречных плазменных струй для получения шихты на основе нитрида титана; Перспективы развития фундаментальных наук
per: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Publicat: (2013)

Физико-механические свойства объемного образца нитрида титана; Современные техника и технологии; Т. 3
per: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Publicat: (2011)

Исследование фазового состава объемного образца нитрида титана; Современные техника и технологии; Т. 3
per: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Publicat: (2011)

Оптимизация толщины водородонепроницаемых покрытий на основе нитрида титана; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
per: Фу Сияо
Publicat: (2017)

Моделирование магнитной подсистемы планарного магнетрона; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
per: Зайцев Даниил Дмитриевич Д. Д.
Publicat: (2023)

Получение порошкообразного нитрида титана в гиперскоростной плазменной структуре; Новые материалы. Создание, структура, свойства-2009
per: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Publicat: (2009)

Исследование влияния давления азота на дисперсность частиц нитрида титана; Перспективы развития фундаментальных наук
per: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Publicat: (2012)

Влияние потенциала смещения на структуру и распределение элементов в покрытиях нитрида титана, полученных методом катодно-дугового осаждения; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 6
Publicat: (2016)

Получение объемного поликристаллического нитрида титана с субмикронной структурой плазменными методами; Перспективы развития фундаментальных наук
per: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Publicat: (2013)

Исследование влияния водорода на покрытия нитрида титана, получаемые вакуумно-дуговым осаждением; Перспективы развития фундаментальных наук
per: Ле Ч.
Publicat: (2014)

Водородопроницаемость покрытий нитрида титана, полученных методом вакуумно-дугового осаждения; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
per: Чжан Ле
Publicat: (2017)

Влияние давления азота в реакционной камере на параметры нитрида титана, полученного методом плазмодинамического синтеза; Российские нанотехнологии; Т. 12, № 11-12
per: Сивков А. А. Александр Анатольевич
Publicat: (2017)

Компактирование нанодисперсных порошков нитрида титана плазмодинамического синтеза методом искрового плазменного спекания; Энергетика, электромеханика и энергоэффективные технологии глазами молодежи; Т. 1
per: Усиков А. И. Антон Иванович
Publicat: (2013)

Распределение элементов в покрытиях нитрида титана, полученных вакуумно-дуговым осаждением с различным потенциалом смещения; Перспективы развития фундаментальных наук
per: Чжан Ле
Publicat: (2015)

Закономерности формирования микроструктуры покрытий на основе нитрида титана, полученных методом ионно-плазменного осаждения; Новые материалы. Создание, структура, свойства-2009
per: Овечкин В. И.
Publicat: (2009)

Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы; Современные техника и технологии; Т. 3
per: Тупикова О. С. Ольга Сергеевна
Publicat: (2011)

Применение постоянного магнитного поля для увеличения выхода нитрида алюминия при горении нанопорошка алюминия в воздухе; Химическая физика и актуальные проблемы энергетики
per: Мостовщиков А. В. Андрей Владимирович
Publicat: (2012)

Введение меди в состав шихты нитрида титана методом встречных плазменных струй; Современные техника и технологии; Т. 3
per: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Publicat: (2013)

Получение объемных сверхтвердых материалов нитрида титана методом спекания в плазме искрового разряда; Перспективы развития фундаментальных наук
per: Усиков А. И. Антон Иванович
Publicat: (2012)

Исследование структуры нанокристаллических покрытий на основе нитрида титана матодом порошковой дифрактометрии с синхронным излучением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
per: Галимов Р. М.
Publicat: (2009)

О возможности реализации полного цикла получения объемного поликристаллического нитрида титана с субмикронной структурой плазмодинамическими методами; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 9
Publicat: (2012)

Зависимость размеров частиц нитрида титана и их агломерационных свойств от параметров плазмодинамического синтеза; Современные техника и технологии; Т. 2
per: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Publicat: (2012)

Равновесные конфигурации плазмы в окресности общей точки; Известия вузов. Физика; Т. 46, № 2
per: Шаповалова О. В.
Publicat: (2003)

Наводороживание циркониевого сплава Э110 с покрытиями на основе нитрида титана, полученными методом катодно-дугового осаждения с различным потенциалом смещения; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
per: Прямушко Т. С. Татьяна Сергеевна
Publicat: (2016)

Система автоматического управления колонной жидкостной хроматографии на базе MPC; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
per: Маковеев А. В. Антон Олегович
Publicat: (2015)

Линейная алгебра и проективная геометрия: пер. с англ.
per: Бэр Р.
Publicat: (Москва, УРСС, 2004)

О возможности реализации полного цикла получения объемного поликристаллического нитрида титана с субмикронной структурой плазмодинамическими методами; Современные техника и технологии; Т. 3
per: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Publicat: (2013)

Исследование водородостойкости, механических и трибологических свойств циркониевого сплава Э110 с покрытием нитрида титана, осажденного методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
per: Керимкулов Э. М.
Publicat: (2018)