Влияние конфигурации магнитного поля дуальной МРС на свойства пленок нитрида титана; Перспективы развития фундаментальных наук

Влияние конфигурации магнитного поля дуальной МРС на свойства пленок нитрида титана; Перспективы развития фундаментальных наук

Bibliografische gegevens
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук.— 2013.— [С. 50-52]
Hoofdauteur:	Бутько Я. А. Яна Александровна
Coauteur:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ)
Andere auteurs:	Сысоева К. С. (научный руководитель), Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Samenvatting:	Заглавие с экрана In this work the process of deposition of TiN depending on the magnetic field configuration is considered. Also, the dependence of properties of TiN films on the partial pressure of nitrogen in the chamber is shows.
Taal:	Russisch
Gepubliceerd in:	2013
Reeks:	Физика
Onderwerpen:	электронный ресурс труды учёных ТПУ конфигурации магнитное поле дуальные отображения МРС-регулирование нитрид титана
Online toegang:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2013/C21/011.pdf
Formaat:	Elektronisch Hoofdstuk
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=603538

Gelijkaardige items

Осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана с помощью дуальной МРС; Перспективы развития фундаментальных наук
door: Киселева Д. В.
Gepubliceerd in: (2015)

Оптимизация магнитного поля дуального магнетрона; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
door: Шелепова М. А.
Gepubliceerd in: (2009)

Исследование режущих свойств объемного поликристаллического нитрида титана; Инновационные технологии и экономика в машиностроении; Т. 1
door: Ким А. Б. Алексей Богович
Gepubliceerd in: (2014)

Нанесение плёнок нитрида титана на легкоплавкие диэлектрические материалы; Изотопы: технологии, материалы и применение
door: Мюсова А. Е.
Gepubliceerd in: (2021)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
door: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Gepubliceerd in: (Томск, [Б. и.], 2016)

Методы ПИД и МРС регулирования системы перевернутого маятника; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
door: Белянина А. С. Алиса Сергеевна
Gepubliceerd in: (2013)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
door: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Gepubliceerd in: (Томск, [Б. и.], 2016)

Система управления электроэрозионной водоочистной установкой на базе МРС регулятора; Приборы; № 5
door: Надеждин И. С. Игорь Сергеевич
Gepubliceerd in: (2018)

Технологические особенности дуальной МРС при реактивном осаждении тонких пленок диоксида титана; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
door: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Gepubliceerd in: (2012)

Исследование фазового состава объемного образца нитрида титана; Современные техника и технологии; Т. 3
door: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Gepubliceerd in: (2011)

Физико-механические свойства объемного образца нитрида титана; Современные техника и технологии; Т. 3
door: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Gepubliceerd in: (2011)

Получение порошкообразного нитрида титана в гиперскоростной плазменной структуре; Новые материалы. Создание, структура, свойства-2009
door: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Gepubliceerd in: (2009)

Исследование влияния давления азота на дисперсность частиц нитрида титана; Перспективы развития фундаментальных наук
door: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Gepubliceerd in: (2012)

Магнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
door: Михневич К. С.
Gepubliceerd in: (2015)

Применение встречных плазменных струй для получения шихты на основе нитрида титана; Перспективы развития фундаментальных наук
door: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Gepubliceerd in: (2013)

Локальная структура покрытий на основе нитрида титана; XLV Международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами: ФВЗЧК-2015
Gepubliceerd in: (2015)

Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы; Современные техника и технологии; Т. 3
door: Тупикова О. С. Ольга Сергеевна
Gepubliceerd in: (2011)

Закономерности формирования микроструктуры покрытий на основе нитрида титана, полученных методом ионно-плазменного осаждения; Новые материалы. Создание, структура, свойства-2009
door: Овечкин В. И.
Gepubliceerd in: (2009)

Исследование влияния водорода на покрытия нитрида титана, получаемые вакуумно-дуговым осаждением; Перспективы развития фундаментальных наук
door: Ле Ч.
Gepubliceerd in: (2014)

Локальная структура покрытий на основе нитрида титана; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 4
Gepubliceerd in: (2016)

Получение объемного поликристаллического нитрида титана с субмикронной структурой плазменными методами; Перспективы развития фундаментальных наук
door: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Gepubliceerd in: (2013)

Применение постоянного магнитного поля для увеличения выхода нитрида алюминия при горении нанопорошка алюминия в воздухе; Химическая физика и актуальные проблемы энергетики
door: Мостовщиков А. В. Андрей Владимирович
Gepubliceerd in: (2012)

Влияние потенциала смещения на структуру и распределение элементов в покрытиях нитрида титана, полученных методом катодно-дугового осаждения; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 6
Gepubliceerd in: (2016)

Оптимизация толщины водородонепроницаемых покрытий на основе нитрида титана; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
door: Фу Сияо
Gepubliceerd in: (2017)

Распределение элементов в покрытиях нитрида титана, полученных вакуумно-дуговым осаждением с различным потенциалом смещения; Перспективы развития фундаментальных наук
door: Чжан Ле
Gepubliceerd in: (2015)

Влияние давления азота в реакционной камере на параметры нитрида титана, полученного методом плазмодинамического синтеза; Российские нанотехнологии; Т. 12, № 11-12
door: Сивков А. А. Александр Анатольевич
Gepubliceerd in: (2017)

Введение меди в состав шихты нитрида титана методом встречных плазменных струй; Современные техника и технологии; Т. 3
door: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Gepubliceerd in: (2013)

Получение объемных сверхтвердых материалов нитрида титана методом спекания в плазме искрового разряда; Перспективы развития фундаментальных наук
door: Усиков А. И. Антон Иванович
Gepubliceerd in: (2012)

Моделирование магнитной подсистемы планарного магнетрона; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
door: Зайцев Даниил Дмитриевич Д. Д.
Gepubliceerd in: (2023)

Водородопроницаемость покрытий нитрида титана, полученных методом вакуумно-дугового осаждения; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
door: Чжан Ле
Gepubliceerd in: (2017)

Исследование структуры нанокристаллических покрытий на основе нитрида титана матодом порошковой дифрактометрии с синхронным излучением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
door: Галимов Р. М.
Gepubliceerd in: (2009)

Компактирование нанодисперсных порошков нитрида титана плазмодинамического синтеза методом искрового плазменного спекания; Энергетика, электромеханика и энергоэффективные технологии глазами молодежи; Т. 1
door: Усиков А. И. Антон Иванович
Gepubliceerd in: (2013)

Зависимость размеров частиц нитрида титана и их агломерационных свойств от параметров плазмодинамического синтеза; Современные техника и технологии; Т. 2
door: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Gepubliceerd in: (2012)

О возможности реализации полного цикла получения объемного поликристаллического нитрида титана с субмикронной структурой плазмодинамическими методами; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 9
Gepubliceerd in: (2012)

Линейная алгебра и проективная геометрия: пер. с англ.
door: Бэр Р.
Gepubliceerd in: (Москва, УРСС, 2004)

О возможности реализации полного цикла получения объемного поликристаллического нитрида титана с субмикронной структурой плазмодинамическими методами; Современные техника и технологии; Т. 3
door: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Gepubliceerd in: (2013)

Наводороживание циркониевого сплава Э110 с покрытиями на основе нитрида титана, полученными методом катодно-дугового осаждения с различным потенциалом смещения; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
door: Прямушко Т. С. Татьяна Сергеевна
Gepubliceerd in: (2016)

Равновесные конфигурации плазмы в окресности общей точки; Известия вузов. Физика; Т. 46, № 2
door: Шаповалова О. В.
Gepubliceerd in: (2003)

Исследование водородостойкости, механических и трибологических свойств циркониевого сплава Э110 с покрытием нитрида титана, осажденного методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
door: Керимкулов Э. М.
Gepubliceerd in: (2018)

Исследование физико-механических свойств керамики на основе карбонитридов титана циркония; Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения
door: Ли Цзе
Gepubliceerd in: (2022)