Влияние конфигурации магнитного поля дуальной МРС на свойства пленок нитрида титана

Dades bibliogràfiques
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук.— 2013.— [С. 50-52]
Autor principal:	Бутько Я. А. Яна Александровна
Autor corporatiu:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ)
Altres autors:	Сысоева К. С. (научный руководитель), Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Sumari:	Заглавие с экрана In this work the process of deposition of TiN depending on the magnetic field configuration is considered. Also, the dependence of properties of TiN films on the partial pressure of nitrogen in the chamber is shows.
Idioma:	rus
Publicat:	2013
Col·lecció:	Физика
Matèries:	электронный ресурс труды учёных ТПУ конфигурации магнитное поле дуальные отображения МРС-регулирование нитрид титана
Accés en línia:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2013/C21/011.pdf
Format:	Electrònic Capítol de llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=603538

Internet