|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
603538 |
| 005 |
20260210092040.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\conf\733
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\conf\725
|
| 090 |
|
|
|a 603538
|
| 100 |
|
|
|a 20140123d2013 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Влияние конфигурации магнитного поля дуальной МРС на свойства пленок нитрида титана
|d Influence of magnetic field configuration of dual MSS on the properties of titanium nitride films
|f Я. А. Бутько, К. С. Сысоева, Ю. Н. Юрьев
|g науч. рук. Ю. Н. Юрьев
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 215 |
|
|
|a 1 файл(449 Кб)
|
| 225 |
1 |
|
|a Физика
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с экрана
|
| 320 |
|
|
|a [Библиогр.: с. 52 (1 назв.)]
|
| 330 |
|
|
|a In this work the process of deposition of TiN depending on the magnetic field configuration is considered. Also, the dependence of properties of TiN films on the partial pressure of nitrogen in the chamber is shows.
|
| 337 |
|
|
|a Adobe Reader
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\conf\715
|t Перспективы развития фундаментальных наук
|l Prospects of fundamental sciences development
|o сборник научных трудов X Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2013 г.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. Е. А. Вайтулевич и др.
|v [С. 50-52]
|d 2013
|
| 510 |
1 |
|
|a Influence of magnetic field configuration of dual MSS on the properties of titanium nitride films
|z eng
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a конфигурации
|
| 610 |
1 |
|
|a магнитное поле
|
| 610 |
1 |
|
|a дуальные отображения
|
| 610 |
1 |
|
|a МРС-регулирование
|
| 610 |
1 |
|
|a нитрид титана
|
| 700 |
|
1 |
|a Бутько
|b Я. А.
|c специалист в области ядерных технологий
|c инженер Томского политехнического университета
|f 1990-
|g Яна Александровна
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\33088
|
| 701 |
|
1 |
|a Сысоева
|b К. С.
|
| 701 |
|
1 |
|a Юрьев
|b Ю. Н.
|c специалист в области водородной энергетики
|c заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник
|f 1984-
|g Юрий Николаевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30543
|9 14839
|
| 702 |
|
1 |
|a Юрьев
|b Ю. Н.
|c специалист в области водородной энергетики
|c заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник
|f 1984-
|g Юрий Николаевич
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|b Физико-технический институт (ФТИ)
|b Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ)
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\18735
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20101016
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20230323
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2013/C21/011.pdf
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
