Влияние температур подложки и испарителя на структуру, фазовый и элементный составы, магнитные и электрические свойства пленок кобальта, полученных методом химического осаждения из газовой фазы

Dades bibliogràfiques
Parent link:	Современные проблемы машиностроения: сборник научных трудов VII Международной научно-технической конференции, г. Томск, 11-13 ноября 2013 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ); под ред. Ан И-Кан и др.. [С. 139-144].— , 2013
Autor principal:	Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Altres autors:	Доровских С. И.
Sumari:	Заглавие с экрана
Idioma:	rus
Publicat:	2013
Col·lecció:	Материаловедение в машиностроении
Matèries:	электронный ресурс труды учёных ТПУ подложки испарители фазовые составы элементный состав магнитные свойства электрические свойства кобальт химическое осаждение
Accés en línia:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2013/C45/035.pdf
Format:	Electrònic Capítol de llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=603333

Internet