Влияние температур подложки и испарителя на структуру, фазовый и элементный составы, магнитные и электрические свойства пленок кобальта, полученных методом химического осаждения из газовой фазы

书目详细资料
Parent link:	Современные проблемы машиностроения: сборник научных трудов VII Международной научно-технической конференции, г. Томск, 11-13 ноября 2013 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ); под ред. Ан И-Кан и др.. [С. 139-144].— , 2013
主要作者:	Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
其他作者:	Доровских С. И.
总结:	Заглавие с экрана
语言:	俄语
出版:	2013
丛编:	Материаловедение в машиностроении
主题:	электронный ресурс труды учёных ТПУ подложки испарители фазовые составы элементный состав магнитные свойства электрические свойства кобальт химическое осаждение
在线阅读:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2013/C45/035.pdf
格式:	电子本书章节
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=603333

因特网