Теоретические и экспериментальные исследования энергетических распределений вторичных ионов при распылении мишеней сложного состава ионами килоэлектронвольтных энергий, диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | |
| Published: |
Томск, 1985
|
| Subjects: | |
| Format: | Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=60318 |