Joint Influence of Steered Vacuum Arc and Negative Repetitively Pulsed Bias on Macroparticles Suppression

Bibliographic Details
Parent link:	The 19th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2015), November 22-27, 2015, The Empress Hotel, Chiang Mai, Thailand: abstracts/ Plasma and Beam Physics Research Facility (PBP) ; Department of Physics and Materials Science ; Faculty of Science, Chiang Mai University, Thailand. P. 192.— , 2015
Corporate Authors:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Лаборатория № 22, Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Центр измерений свойств материалов (ЦИСМ)
Other Authors:	Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich, Ananin P. S. Petr Semenovich, Shevelev A. E. Aleksey Eduardovich, Sivin D. O. Denis Olegovich, Zhelomsky S. G. Sergey Gennadjevich
Summary:	В фонде НТБ ТПУ отсутствует
Published:	2015
Subjects:	труды учёных ТПУ вакуумная дуга макрочастицы высокочастотные импульсы отрицательное смещение
Format:	Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=602529

Similar Items