Investigation of Negative Bias Pulse Parameters Influence to Macroparticles Accumulation on Substrate Immersed in Titanium Vacuum Arc Plasma

Investigation of Negative Bias Pulse Parameters Influence to Macroparticles Accumulation on Substrate Immersed in Titanium Vacuum Arc Plasma

Бібліографічні деталі
Parent link:	The 19th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2015), November 22-27, 2015, The Empress Hotel, Chiang Mai, Thailand: abstracts/ Plasma and Beam Physics Research Facility (PBP) ; Department of Physics and Materials Science ; Faculty of Science, Chiang Mai University, Thailand. P. 191.— , 2015
Співавтори:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Лаборатория № 22, Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Центр измерений свойств материалов (ЦИСМ)
Інші автори:	Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich, Ananin P. S. Petr Semenovich, Dektyarev S. V. Sergey Valentinovich, Bumagina A. I. Anna Ivanovna, Shevelev A. E. Aleksey Eduardovich, Sivin D. O. Denis Olegovich, Andriyashin D. A. Dmitry Aleksandrovich
Резюме:	В фонде НТБ ТПУ отсутствует
Мова:	Англійська
Опубліковано:	2015
Предмети:	труды учёных ТПУ вакуумно-дуговая плазма макрочастицы высокочастотные импульсы отрицательное смещение потенциалы поверхностная плотность
Формат:	Частина з книги
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=602528

Схожі ресурси

Tangential Cathode Magnetic Field and Substrate Bias Influence on Copper Vacuum Arc Macroparticle Content Decreasing
Опубліковано: (2015)

Joint Influence of Steered Vacuum Arc and Negative Repetitively Pulsed Bias on Macroparticles Suppression
Опубліковано: (2015)

Filtered Vacuum Arc Plasma Application For Ion-Beam and Plasma Material Processing
Опубліковано: (2015)

Influence of negative bias pulse parameters on accumulation of macroparticles on the substrate immersed in titanium vacuum arc plasma
Опубліковано: (2016)

Joint influence of steered vacuum arc and negative repetitively pulsed bias on titanium macroparticles suppression
Опубліковано: (2018)

Macroparticles number density decreasing on a substrate immersed in vacuum arc plasma at repetitively pulsed biasing
Опубліковано: (2014)

Control of Vacuum Arc Macroparticles by High-Frequency Short-Pulsed Negative Bias Application
за авторством: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Опубліковано: (2015)

Influence of Repetitively Pulsed Negative Bias Parameters on Macroparticle Surface Density
Опубліковано: (2016)

Tangential cathode magnetic field and substrate bias influence on copper vacuum arc macroparticle content decreasing
Опубліковано: (2016)

Control of vacuum arc macroparticles by negative repetitively pulsed biasing
Опубліковано: (2015)

Joint influence of steered vacuum arc and negative repetitively pulsed bias on titanium macroparticles suppression
Опубліковано: (2016)

A vacuum arc cathode magnetic field and a substrate bias influence on a macroparticle content decreasing
Опубліковано: (2015)

Application of a Tangential Magnetic Field and Negative Repetitively Pulsed Bias for Suppression of Vacuum-Arc Copper Macroparticles
за авторством: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Опубліковано: (2016)

Accumulation of macroparticles on a substrate in vacuum arc titanium plasma
Опубліковано: (2014)

Influence of Bias Parameters and Plasma Density on Vacuum Arc Macroparticle Accumulation
за авторством: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Опубліковано: (2015)

Aluminium vacuum arc plasma application for intermetallic layers formation using plasma immersion ion implantation method
за авторством: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Опубліковано: (2014)

Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.20
за авторством: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Опубліковано: (Томск, [Б. и.], 2015)

Исследование влияния отрицательного смещения подложки на параметры плазмы ВЧ-магнетронного распыления методом двойного зонда Ленгмюра
за авторством: Мухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович
Опубліковано: (2014)

Titanium Macroparticle Fraction Suppression with Steered Arc And Negative Pulse Biasing
Опубліковано: (2016)

Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец.01.04.20
за авторством: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Опубліковано: (Томск, [Б. и.], 2015)

Анализ зарядки макрочастиц в приэлектродном слое емкостного высокочастотного разряда
Опубліковано: (2003)

Formation of titanium interlayer by vacuum arc deposition to increase the durability of titanium nitride coatings under thermal cycling conditions
Опубліковано: (2015)

Efficient arc sources of gas-discharge plasma in vacuum-plasma production facilities
Опубліковано: (2012)

Influence of the plasma-immersion ion implantation of titanium on the structure, morphology, and composition of the surface layer of Zr–1Nb alloy
Опубліковано: (2017)

Микросхема UC3843 в импульсном стабилизаторе отрицательного напряжения
за авторством: Пушкарёв М.
Опубліковано: (2004)

Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.20
за авторством: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Опубліковано: (Томск, [Б. и.], 2015)

Application of Ti-Al Powder Cathodes for Vacuum-Arc Synthesis of Nitride Coatings
Опубліковано: (2019)

Физико-технические проблемы монодисперсных систем сборник научных трудов
Опубліковано: (Москва, Изд-во МЭИ, 1988)

Vacuum-plasma technologies for high-quality surface-treatment applications
Опубліковано: (2012)

Стабилизированный блок питания для "Люстры Чижевского"
за авторством: Бирюков С.
Опубліковано: (2004)

Investigation of filtered vacuum arc plasma application for TiAlN and TiSiB coatings deposition using ion beam and plasma material processing
Опубліковано: (2016)

Влияние электрического потенциала смещения на свойства стали 40Х13 при ионно-плазменном азотировании в высокочастотном разряде
за авторством: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Опубліковано: (2021)

Разработка модели макрочастиц на основе технологии параллельных вычислений
за авторством: Остроухов П. А.
Опубліковано: (2010)

Снижение отрицательного воздействия на окружающую среду процесса подводного демонтажа конструкций
Опубліковано: (2012)

Крупномасштабная модель инжектора тритиевых макрочастиц для международного токамака ИТЭР
Опубліковано: (2002)

Динамика макрочастиц в пылевой плазме в условиях микрогравитации (первые эксперименты на МКС)
Опубліковано: (2003)

Экранировка сильнозаряженных макрочастиц в жидких растворах электролитов
за авторством: Бункин Н. Ф.
Опубліковано: (2003)

High Voltage Vacuum Insulation: The Physical Basis
за авторством: Latham R. V.
Опубліковано: (London, Academic Press, 1981)

Диффузия макрочастиц и критерии фазовых переходов для пылевых структур в слабоионизированной плазме
за авторством: Ваулина О. С.
Опубліковано: (2002)

Structure and Properties of CrN/TiN Multi-Layer Coatings Obtained by Vacuum-Arc Plasma-Assisted Deposition Method
Опубліковано: (2023)