Investigation of Negative Bias Pulse Parameters Influence to Macroparticles Accumulation on Substrate Immersed in Titanium Vacuum Arc Plasma

Investigation of Negative Bias Pulse Parameters Influence to Macroparticles Accumulation on Substrate Immersed in Titanium Vacuum Arc Plasma

Bibliographic Details
Parent link:The 19th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2015), November 22-27, 2015, The Empress Hotel, Chiang Mai, Thailand: abstracts/ Plasma and Beam Physics Research Facility (PBP) ; Department of Physics and Materials Science ; Faculty of Science, Chiang Mai University, Thailand. P. 191.— , 2015
Corporate Authors: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Лаборатория № 22, Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Центр измерений свойств материалов (ЦИСМ)
Other Authors: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich, Ananin P. S. Petr Semenovich, Dektyarev S. V. Sergey Valentinovich, Bumagina A. I. Anna Ivanovna, Shevelev A. E. Aleksey Eduardovich, Sivin D. O. Denis Olegovich, Andriyashin D. A. Dmitry Aleksandrovich
Summary:В фонде НТБ ТПУ отсутствует
Published: 2015
Subjects:
труды учёных ТПУ
вакуумно-дуговая плазма
макрочастицы
высокочастотные импульсы
отрицательное смещение
потенциалы
поверхностная плотность
Format: Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=602528

Similar Items