APA (7th ed.) Citation

Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Лаборатория № 22, Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Центр измерений свойств материалов (ЦИСМ), Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich, Ananin P. S. Petr Semenovich, Dektyarev S. V. Sergey Valentinovich, Bumagina A. I. Anna Ivanovna, . . . Andriyashin D. A. Dmitry Aleksandrovich. (2015). Investigation of Negative Bias Pulse Parameters Influence to Macroparticles Accumulation on Substrate Immersed in Titanium Vacuum Arc Plasma. 2015.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Лаборатория № 22, Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Центр измерений свойств материалов (ЦИСМ), Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich, Ananin P. S. Petr Semenovich, Dektyarev S. V. Sergey Valentinovich, Bumagina A. I. Anna Ivanovna, Shevelev A. E. Aleksey Eduardovich, Sivin D. O. Denis Olegovich, and Andriyashin D. A. Dmitry Aleksandrovich. Investigation of Negative Bias Pulse Parameters Influence to Macroparticles Accumulation on Substrate Immersed in Titanium Vacuum Arc Plasma. 2015, 2015.

MLA (9th ed.) Citation

Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Лаборатория № 22, et al. Investigation of Negative Bias Pulse Parameters Influence to Macroparticles Accumulation on Substrate Immersed in Titanium Vacuum Arc Plasma. 2015, 2015.