Filtered Vacuum Arc Plasma Application For Ion-Beam and Plasma Material Processing

Filtered Vacuum Arc Plasma Application For Ion-Beam and Plasma Material Processing

Opis bibliograficzny
Parent link:The 19th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2015), November 22-27, 2015, The Empress Hotel, Chiang Mai, Thailand: abstracts/ Plasma and Beam Physics Research Facility (PBP) ; Department of Physics and Materials Science ; Faculty of Science, Chiang Mai University, Thailand. P. 155.— , 2015
organizacja autorów: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Лаборатория № 22, Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Центр измерений свойств материалов (ЦИСМ)
Kolejni autorzy: Stepanov I. B. Igor Borisovich, Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich, Shevelev A. E. Aleksey Eduardovich, Ananin P. S. Petr Semenovich, Bumagina A. I. Anna Ivanovna, Sivin D. O. Denis Olegovich, Shulepov I. A. Ivan Anisimovich
Streszczenie:В фонде НТБ ТПУ отсутствует
Język:angielski
Wydane: 2015
Hasła przedmiotowe:
труды учёных ТПУ
плазменные фильтры
вакуумно-дуговая плазма
макрочастицы
высокочастотные импульсы
отрицательное смещение
ионная имплантация
Format: Rozdział
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=602527

Podobne zapisy