Filtered Vacuum Arc Plasma Application For Ion-Beam and Plasma Material Processing

Filtered Vacuum Arc Plasma Application For Ion-Beam and Plasma Material Processing

Bibliographic Details
Parent link:The 19th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2015), November 22-27, 2015, The Empress Hotel, Chiang Mai, Thailand: abstracts/ Plasma and Beam Physics Research Facility (PBP) ; Department of Physics and Materials Science ; Faculty of Science, Chiang Mai University, Thailand. P. 155.— , 2015
Corporate Authors: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Лаборатория № 22, Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Центр измерений свойств материалов (ЦИСМ)
Other Authors: Stepanov I. B. Igor Borisovich, Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich, Shevelev A. E. Aleksey Eduardovich, Ananin P. S. Petr Semenovich, Bumagina A. I. Anna Ivanovna, Sivin D. O. Denis Olegovich, Shulepov I. A. Ivan Anisimovich
Summary:В фонде НТБ ТПУ отсутствует
Published: 2015
Subjects:
труды учёных ТПУ
плазменные фильтры
вакуумно-дуговая плазма
макрочастицы
высокочастотные импульсы
отрицательное смещение
ионная имплантация
Format: Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=602527

Similar Items