Получение пленок Co методом MOCVD из диимината кобальта Co(N'acN'ac). Влияние температуры осаждения

Получение пленок Co методом MOCVD из диимината кобальта Co(N'acN'ac). Влияние температуры осаждения

Bibliographic Details
Parent link:Физическое материаловедение.— 2013.— С. 127-130
Main Author: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Other Authors: Доровских С. И.
Summary:В фонде НТБ ТПУ отсутствует
Language:Russian
Published: 2013
Subjects:
труды учёных ТПУ
Format: Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=601735

Similar Items

Similar Items