Получение пленок Co методом MOCVD из диимината кобальта Co(N'acN'ac). Влияние температуры осаждения
| Parent link: | Физическое материаловедение.— 2013.— С. 127-130 |
|---|---|
| Hoofdauteur: | |
| Andere auteurs: | |
| Samenvatting: | В фонде НТБ ТПУ отсутствует |
| Taal: | Russisch |
| Gepubliceerd in: |
2013
|
| Onderwerpen: | |
| Formaat: | Hoofdstuk |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=601735 |