Получение пленок Co методом MOCVD из диимината кобальта Co(N'acN'ac). Влияние температуры осаждения; Физическое материаловедение

Chi tiết về thư mục
Parent link:	Физическое материаловедение.— 2013.— С. 127-130
Tác giả chính:	Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Tác giả khác:	Доровских С. И.
Tóm tắt:	В фонде НТБ ТПУ отсутствует
Ngôn ngữ:	Tiếng Nga
Được phát hành:	2013
Những chủ đề:	труды учёных ТПУ
Định dạng:	Chương của sách
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=601735

MARC


LEADER	00000naa0a2200000 4500
001	601735
005	20250220092929.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\tpu\26785
035			\|a RU\TPU\tpu\25978
090			\|a 601735
100			\|a 20150218d2013 k y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
200	1		\|a Получение пленок Co методом MOCVD из диимината кобальта Co(N'acN'ac). Влияние температуры осаждения \|f Р. Р. Хайруллин, С. И. Доровских
333			\|a В фонде НТБ ТПУ отсутствует
463			\|t Физическое материаловедение \|o сборник тезисов и статей VI Международной школы, 15-19 октября 2013 г., г. Новочеркасск \|v С. 127-130 \|d 2013
610	1		\|a труды учёных ТПУ
700		1	\|a Хайруллин \|b Р. Р. \|c специалист в области материаловедения \|c инженер Томского политехнического университета \|f 1992- \|g Рустам Равильевич \|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\32861
701		1	\|a Доровских \|b С. И.
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20141029
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20150218 \|g RCR
942			\|c BK