Получение пленок Co методом MOCVD из диимината кобальта Co(N'acN'ac). Влияние температуры осаждения
| Parent link: | Физическое материаловедение.— 2013.— С. 127-130 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | |
| Summary: | В фонде НТБ ТПУ отсутствует |
| Language: | Russian |
| Published: |
2013
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=601735 |
| Summary: | В фонде НТБ ТПУ отсутствует |
|---|