Релаксация неравновесного состояния приповерхностного слоя кремния после имплантации ионов

Bibliografiske detaljer
Parent link:Хаос и структуры в нелинейных системах. Теория и эксперимент: материалы 8-й Международной научной конференции, посвященной 40-летию КарГУ имени академика Е. А. Букетова, Караганда, 18-20 июня 2012 г.. С. 343-349.— , 2012
Hovedforfatter: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Andre forfattere: Конусов Ф. В. Федор Валерьевич, Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
Summary:В фонде НТБ ТПУ отсутствует
Udgivet: 2012
Fag:
Format: Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=601291

MARC

LEADER 00000naa0a2200000 4500
001 601291
005 20250213130455.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\tpu\26014 
035 |a RU\TPU\tpu\26013 
090 |a 601291 
100 |a 20141031d2012 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a KZ 
200 1 |a Релаксация неравновесного состояния приповерхностного слоя кремния после имплантации ионов  |f А. В. Кабышев, Ф. В. Конусов, Г. Е. Ремнев 
333 |a В фонде НТБ ТПУ отсутствует 
463 |t Хаос и структуры в нелинейных системах. Теория и эксперимент  |o материалы 8-й Международной научной конференции, посвященной 40-летию КарГУ имени академика Е. А. Букетова, Караганда, 18-20 июня 2012 г.  |v С. 343-349  |d 2012 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
700 1 |a Кабышев  |b А. В.  |c специалист в области электроэнергетики  |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук  |f 1958-  |g Александр Васильевич  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27068 
701 1 |a Конусов  |b Ф. В.  |c физик  |c ведущий инженер Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук  |f 1958-  |g Федор Валерьевич  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30120  |9 14526 
701 1 |a Ремнев  |b Г. Е.  |c физик  |c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук  |f 1948-  |g Геннадий Ефимович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22004 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20141023 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20150609  |g RCR 
942 |c BK