Релаксация неравновесного состояния приповерхностного слоя кремния после имплантации ионов
| Parent link: | Хаос и структуры в нелинейных системах. Теория и эксперимент: материалы 8-й Международной научной конференции, посвященной 40-летию КарГУ имени академика Е. А. Букетова, Караганда, 18-20 июня 2012 г.. С. 343-349.— , 2012 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Summary: | В фонде НТБ ТПУ отсутствует |
| Published: |
2012
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=601291 |