Релаксация неравновесного состояния приповерхностного слоя кремния после имплантации ионов
| Parent link: | Хаос и структуры в нелинейных системах. Теория и эксперимент.— 2012.— С. 343-349 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Summary: | В фонде НТБ ТПУ отсутствует |
| Language: | Russian |
| Published: |
2012
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=601291 |
| Summary: | В фонде НТБ ТПУ отсутствует |
|---|