APA (7th ed.) Citation

Кабышев А. В. Александр Васильевич, Конусов Ф. В. Федор Валерьевич, & Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович. (2012). Релаксация неравновесного состояния приповерхностного слоя кремния после имплантации ионов. 2012.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Кабышев А. В. Александр Васильевич, Конусов Ф. В. Федор Валерьевич, and Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович. Релаксация неравновесного состояния приповерхностного слоя кремния после имплантации ионов. 2012, 2012.

MLA (9th ed.) Citation

Кабышев А. В. Александр Васильевич, et al. Релаксация неравновесного состояния приповерхностного слоя кремния после имплантации ионов. 2012, 2012.