Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на электрические и фотоэлектрические свойства поликристаллического кремния
| Parent link: | труды ХXII Международной конференции "Радиационная физика твердого тела" (Севастополь, 9-14 июля 2012 г.). С. 469-477.— , 2012 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Summary: | В фонде НТБ ТПУ отсутствует |
| Published: |
2012
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=601284 |