Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда, автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي:	Худайбергенов Г. Ж. Гамзат Жапарович
مؤلف مشترك:	Омский государственный университет
مؤلفون آخرون:	Струнин В. И. Владимир Иванович (727)
الملخص:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
اللغة:	الروسية
منشور في:	Омск, [Б. и.], 2003
الموضوعات:	физика аморфный кремний гидрогенизированный кремний тонкие пленки осаждение газовые разряды аргон-силановая плазма электроны распределение ВЧЕ разряды химический состав моделирование авторефераты диссертаций электронный ресурс
الوصول للمادة أونلاين:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2003/92.pdf
التنسيق:	الكتروني كتاب
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=60096

مواد مشابهة

О влиянии условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных плёнок
حسب: Гренадёров А. С.
منشور في: (2018)

Влияние лазерной обработки на свойства плёнок аморфного кремния
منشور في: (2011)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
حسب: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
منشور في: (Томск, 2016)

Химическое осаждение из газовой фазы, вызываемое ВЧ разрядом перевод № 18/ЭТ-1269
حسب: Стерлинг Х.
منشور في: (Москва, Изд-во ЦНИИТЭиНИ, 1967)

The Deposition of Silicon-Carbon Coatings in Plasma Based Nonself-Sustained Arc Discharge with Heated Cathode
منشور في: (2016)

Preparation of ultrafine Cu3Si in high-current pulsed arc discharge
منشور في: (2016)

A Plasma System for Low-Emissive Coating Deposition
منشور في: (2004)

Математическое моделирование генерации плазмы в разряде низкого давления
حسب: Нгуен Бао Хынг
منشور في: (2013)

Фотолюминесценция аморфного углерода в плёнках a-C:C60, полученных осаждением фуллеренов С60
حسب: Васин А. В.
منشور في: (2002)

Особенности электродинамики высокочастотного факельного разряда, горящего в аргоне
حسب: Луценко Ю. Ю. Юрий Юрьевич
منشور في: (2016)

Nhe Physics of Hydrogenated Amorphous Silicon 1. Structure, Preparation, and Devices
منشور في: (Berlin, Springer-Verlag, 1984)

Моделирование газового разряда в аргоне в отсутствии внешнего магнитного поля
حسب: Нгуен Бао Хынг
منشور في: (2012)

Влияние объемного наносекудного разряда в атмосферах воздуха, аргона и азота атмосферного давления на электрофизические свойства узкозонных твердых растворов CdHgTe
حسب: Григорьев Д. В.
منشور في: (2013)

Методика и прибор для исследований низкочастотной диэлектрической проницаемости тонких плёнок аморфного льда с регистрацией данных на компьютере
منشور في: (2003)

Технологические основы изготовления интегральных микросхем учебное пособие
حسب: Терехов А. И.
منشور في: (Иваново, ИГЭУ, 2018)

Физика тлеющего разряда
حسب: Кудрявцев А. А.
منشور في: (Санкт-Петербург, Лань, 2022)

Особенности электромагнитного поля высокочастотного факельного разряда, горящего в аргоне
حسب: Доржиев А. Е.
منشور في: (2020)

Т. 14
منشور في: (1982)

Тонкие нерганические пленки в микроэлектронике
منشور في: (Ленинград, Наука, 1972)

Технология и конструирование интегральных микросхем учебное пособие
حسب: Березин А. С. Андрей Сергеевич
منشور في: (Москва, Радио и связь, 1983)

Ч. 2
منشور في: (2007)

Аморфный кремний и родственные материалы пер. с англ.
منشور في: (Москва, Мир, 1991)

Получение SiO2 из лейкоксеного концентрата фтораммонийным способом
حسب: Леонов Д. И.
منشور في: (2021)

Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста учебное пособие для вузов
حسب: Васильев В. Ю.
منشور في: (Санкт-Петербург, Лань, 2024)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
حسب: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
منشور في: (Томск, [Б. и.], 2016)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
حسب: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
منشور في: (Томск, [Б. и.], 2016)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
حسب: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
منشور في: (Томск, 1998)

Электродный СВЧ разряд пониженного давления в аргоне
حسب: Лебедев Ю. А.
منشور في: (2002)

Подбор режимов работы радиочастотного источника оптически-эмиссионного спектрометра тлеющего разряда GD-Profiler 2 для анализа тонких пленок
حسب: Ломыгин А. Д. Антон Дмитриевич
منشور في: (2019)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
حسب: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
منشور في: (Томск, 2016)

The Physics of Hydrogenated Amorphous Silicon II. Electronic and Vibrational Properties
منشور في: (Berlin, Springer-Verlag, 1984)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
حسب: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
منشور في: (Томск, [Б. и.], 1998)

Подбор режимов работы радиочастотного источника оптически-эмиссионного спектрометра тлеющего разряда GD-Profiler 2 для анализа тонких пленок
حسب: Ломыгин А. Д. Антон Дмитриевич
منشور في: (2019)

Распыление под действием бомбардировки частицами
منشور في: (Москва, Мир, 1998)

Взаимосвязь электронной температуры плазмы высокочастотного факельного заряда с его электродинамическими характеристиками
حسب: Плеханова И. В.
منشور في: (2010)

Травление углеродных покрытий в аргон-водородной плазме высокочастотного разряда
حسب: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
منشور في: (2020)

Технологии электронной компонентной базы учебное пособие
حسب: Хорин И. А. Иван Анатольевич
منشور في: (Саратов, Ай Пи Эр Медиа, 2018)

Самоформирование: теория и применение тезисы III республиканского семинара, Вильнюс, 26-27 мая 1987 г.
منشور في: (Вильнюс, Изд-во ИФП, 1987)

Формирование a-C:H:SiOx плёнок методом плазмохимического осаждения автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.04
حسب: Гренадёров А. С. Александр Сергеевич
منشور في: (Томск, [Б. и.], 2018)

Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
حسب: Данилин Б. С. Борис Степанович
منشور في: (Москва, Энергоатомиздат, 1989)