Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда, автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Бібліографічні деталі
Автор:	Худайбергенов Г. Ж. Гамзат Жапарович
Співавтор:	Омский государственный университет
Інші автори:	Струнин В. И. Владимир Иванович (727)
Резюме:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
Мова:	Російська
Опубліковано:	Омск, [Б. и.], 2003
Предмети:	физика аморфный кремний гидрогенизированный кремний тонкие пленки осаждение газовые разряды аргон-силановая плазма электроны распределение ВЧЕ разряды химический состав моделирование авторефераты диссертаций электронный ресурс
Онлайн доступ:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2003/92.pdf
Формат:	Електронний ресурс Книга
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=60096

Інтернет