Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter:	Худайбергенов Г. Ж. Гамзат Жапарович
Institution som forfatter:	Омский государственный университет
Andre forfattere:	Струнин В. И. Владимир Иванович (научный руководитель)
Summary:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
Sprog:	russisk
Udgivet:	Омск, [Б. и.], 2003
Fag:	физика аморфный кремний гидрогенизированный кремний тонкие пленки осаждение газовые разряды аргон-силановая плазма электроны распределение ВЧЕ разряды химический состав моделирование авторефераты диссертаций электронный ресурс
Online adgang:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2003/92.pdf
Format:	MixedMaterials Electronisk Bog
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=60096

Internet