|
|
|
|
| LEADER |
00000nlm0a2200000 4500 |
| 001 |
60096 |
| 005 |
20231031061047.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\63562
|
| 090 |
|
|
|a 60096
|
| 100 |
|
|
|a 20040202d2003 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a dm 001zy
|
| 135 |
|
|
|a drbn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда
|b Электронный ресурс
|e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
|f Г. Ж. Худайбергенов
|g Омский государственный университет; науч.рук.: В. И. Струнин
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 210 |
|
|
|a Омск
|c [Б. и.]
|d 2003
|
| 215 |
|
|
|a 1 файл (503 Kb)
|
| 230 |
|
|
|a Электронные текстовые данные (1 файл : 503 Kb)
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 300 |
|
|
|a Электронная версия печатной публикации
|
| 337 |
|
|
|a Adobe Reader
|
| 452 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\63085
|t Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда
|o автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
|o спец. 01.04.08
|f Г. Ж. Худайбергенов
|g Омский государственный университет; науч. рук. В. И. Струнин
|c Омск
|n Б.и.
|d 2003
|p 24 с.
|a Худайбергенов, Гамзат Жапарович
|
| 610 |
1 |
|
|a физика
|
| 610 |
1 |
|
|a аморфный кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a гидрогенизированный кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a газовые разряды
|
| 610 |
1 |
|
|a аргон-силановая плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a электроны
|
| 610 |
1 |
|
|a распределение
|
| 610 |
1 |
|
|a ВЧЕ разряды
|
| 610 |
1 |
|
|a химический состав
|
| 610 |
1 |
|
|a моделирование
|
| 610 |
1 |
|
|a авторефераты диссертаций
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 675 |
|
|
|a 539.216.2(04)
|v 3
|
| 686 |
|
|
|a 01.04.08
|2 oksvnk
|
| 700 |
|
1 |
|a Худайбергенов
|b Г. Ж.
|g Гамзат Жапарович
|
| 702 |
|
1 |
|a Струнин
|b В. И.
|g Владимир Иванович
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Омский государственный университет
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\376
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20040202
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20200828
|g PSBO
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2003/92.pdf
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
