Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда, автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Худайбергенов Г. Ж. Гамзат Жапарович
Corporate Author:	Омский государственный университет
Other Authors:	Струнин В. И. Владимир Иванович (727)
Summary:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
Language:	Russian
Published:	Омск, [Б. и.], 2003
Subjects:	физика аморфный кремний гидрогенизированный кремний тонкие пленки осаждение газовые разряды аргон-силановая плазма электроны распределение ВЧЕ разряды химический состав моделирование авторефераты диссертаций электронный ресурс
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2003/92.pdf
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=60096

Description
Physical Description:	1 файл (503 Kb)
Summary:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации

Similar Items