Влияние термообработки на электрическую проводимость ионно-модифицированных слоев кристаллического кварца

Podrobná bibliografie
Korporativní autor: Томский политехнический университет (ТПУ)
Další autoři: Пичугин В. Ф. Владимир Федорович, Франгульян Т. С. Тамара Семёновна, Тишкина В. А., Горностаев А. М., Возняк А. В.
Shrnutí:Деп. в ВИНИТИ 03.08.93, № 2214-В93
Исследовано влияние режимов термообработки на проводимость кварца, облученного ускоренными ионами. Установлено, что отжиг образцов в вакууме до 1300К не влияет на проводимость кварца, в то время как отжиг на воздухе приводит к восстановлению их диэлектрических свойств. Детально изучены кинетики изотермической релаксации наведенной ионным облучением проводимости кварца. Определена энергия активации отжигового процесса. Полученные результаты объяснены с позиций взаимодействия облученной поверхности кварца с окружающей средой при отжиге на воздухе.
В фонде НТБ ТПУ отсутствует
Vydáno: Томск, 1993
Témata:
Médium: Kniha
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=599786