Влияние термообработки на электрическую проводимость ионно-модифицированных слоев кристаллического кварца
| Weitere Verfasser: | , , , , |
|---|---|
| Zusammenfassung: | Деп. в ВИНИТИ 03.08.93, № 2214-В93 Исследовано влияние режимов термообработки на проводимость кварца, облученного ускоренными ионами. Установлено, что отжиг образцов в вакууме до 1300К не влияет на проводимость кварца, в то время как отжиг на воздухе приводит к восстановлению их диэлектрических свойств. Детально изучены кинетики изотермической релаксации наведенной ионным облучением проводимости кварца. Определена энергия активации отжигового процесса. Полученные результаты объяснены с позиций взаимодействия облученной поверхности кварца с окружающей средой при отжиге на воздухе. В фонде НТБ ТПУ отсутствует |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Томск, 1993
|
| Schlagworte: | |
| Format: | Buch |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=599786 |