Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от микрочастиц
| Autor corporatiu: | |
|---|---|
| Altres autors: | |
| Sumari: | опубл. 10.04.98 Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от микрочастиц относится к плазменному нанесению покрытий и предназначено для улучшения качества покрытий, наносимых с помощью вакуумно-дуговых испарителей. Устр-во содержит жалюзную систему электродов, наклоненных к оси испарителя так, что электроды полностью перекрывают аппертуру испарителя. Электроды соединены между собой последовательно и встречно и подключены к источнику тока. Электроды могут быть выполнены из набора проводников, включенных последовательно и согласно в одной жалюзной пластине и встречно - в соседних, что уменьшает ток через систему. Для испарителей с большой рабочей поверхностью катода жалюзные пластины системы расположены под различными углами к оси испарителя. Большую прозрачность имеют жалюзные пластины, изогнутые по цилиндрич. поверхности, либо в виде двух плоскостей, состыкованных под тупым углом. В фонде НТБ ТПУ отсутствует |
| Idioma: | rus |
| Publicat: |
|
| Matèries: | |
| Format: | Llibre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=599697 |
MARC
| LEADER | 00000nam0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 599697 | ||
| 005 | 20231101132053.0 | ||
| 029 | 1 | 0 | |a RU |b 2108636 |c Пат. |d МПК 6 H 01 J 3/40, C 23 C 14/48 |
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\tpu\23828 | ||
| 035 | |a RU\TPU\tpu\23659 | ||
| 039 | 0 | |a RU |b 2000111599/28 |c 20000510 | |
| 090 | |a 599697 | ||
| 100 | |a 20131028j19980410k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a a k 000zy | ||
| 200 | 1 | |a Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от микрочастиц |f А. И. Рябчиков |g Томский политехнический университет (ТПУ), Научно-исследовательский институт ядерной физики (НИИ ЯФ) | |
| 300 | |a опубл. 10.04.98 | ||
| 330 | |a Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от микрочастиц относится к плазменному нанесению покрытий и предназначено для улучшения качества покрытий, наносимых с помощью вакуумно-дуговых испарителей. Устр-во содержит жалюзную систему электродов, наклоненных к оси испарителя так, что электроды полностью перекрывают аппертуру испарителя. Электроды соединены между собой последовательно и встречно и подключены к источнику тока. Электроды могут быть выполнены из набора проводников, включенных последовательно и согласно в одной жалюзной пластине и встречно - в соседних, что уменьшает ток через систему. Для испарителей с большой рабочей поверхностью катода жалюзные пластины системы расположены под различными углами к оси испарителя. Большую прозрачность имеют жалюзные пластины, изогнутые по цилиндрич. поверхности, либо в виде двух плоскостей, состыкованных под тупым углом. | ||
| 333 | |a В фонде НТБ ТПУ отсутствует | ||
| 610 | 1 | |a патенты | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 701 | 1 | |a Рябчиков |b А. И. |c физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1950- |g Александр Ильич |x TPU |2 stltpush |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22006 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Томский политехнический университет (ТПУ) |b Научно-исследовательский институт ядерной физики (НИИ ЯФ) |c (1998- ) |2 stltpush |3 (RuTPU)RU\TPU\col\581 |
| 801 | 1 | |a RU |b 63413507 |c 20120201 | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20200923 |g RCR | |
| 942 | |c BK | ||