Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от микрочастиц
| Corporate Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Summary: | опубл. 10.04.98 Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от микрочастиц относится к плазменному нанесению покрытий и предназначено для улучшения качества покрытий, наносимых с помощью вакуумно-дуговых испарителей. Устр-во содержит жалюзную систему электродов, наклоненных к оси испарителя так, что электроды полностью перекрывают аппертуру испарителя. Электроды соединены между собой последовательно и встречно и подключены к источнику тока. Электроды могут быть выполнены из набора проводников, включенных последовательно и согласно в одной жалюзной пластине и встречно - в соседних, что уменьшает ток через систему. Для испарителей с большой рабочей поверхностью катода жалюзные пластины системы расположены под различными углами к оси испарителя. Большую прозрачность имеют жалюзные пластины, изогнутые по цилиндрич. поверхности, либо в виде двух плоскостей, состыкованных под тупым углом. В фонде НТБ ТПУ отсутствует |
| Language: | Russian |
| Published: |
|
| Subjects: | |
| Format: | Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=599697 |