|
|
|
|
| LEADER |
00000naa0a2200000 4500 |
| 001 |
599378 |
| 005 |
20250417085253.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\tpu\23398
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\tpu\20382
|
| 090 |
|
|
|a 599378
|
| 100 |
|
|
|a 20130627d2001 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Формирование интерметаллидных слоев при высокоинтенсивной ионной имплантации
|f А. И. Рябчиков [и др.]
|
| 330 |
|
|
|a Представлены результаты эксперим. исследования по формированию интерметаллидов в поверхн. слое металлич. мишени при ионной имплантации. Для увеличения толщины ионно-легированного поверхн. слоя применена высокоинтенсивная ионная имплантация, позволяющая легировать поверхн. слои значительно большей толщины по сравнению с обычной ионной имплантацией. В качестве мишени был выбран чистый поликристаллич. никель, образцы которого облучались ионами алюминия на ионно-плазменном источнике "Радуга-5". Показано, что при высокоинтенсивной ионной имплантации в поверхн. слое алюминия толщиной 200 нм и более формируются мелкодисперсные интерметаллиды составов, близких к Ni3Al, NiAl, а также твердый раствор Al в Ni. Образование фаз идет в полном в соответствии с фазовой диаграммой Ni-Al. В ионно-легированном слое имеет место высокий уровень остаточных напряжений
|
| 333 |
|
|
|a В фонде НТБ ТПУ отсутствует
|
| 463 |
|
|
|t 6 Белорусско-Польский симпозиум "Вакуумная техника и технологии"
|o материалы 4 Международной конференции "Взаимодействие излучений с твердым телом", Минск, 3-5 окт., 2001
|v С. 291-293
|d 2001
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 701 |
|
1 |
|a Рябчиков
|b А. И.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1950-
|g Александр Ильич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22006
|
| 701 |
|
1 |
|a Козлов
|b Э. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Шаркеев
|b Ю. П.
|
| 701 |
|
1 |
|a Фортуна
|b С. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Степанов
|b И. Б.
|
| 701 |
|
1 |
|a Шулепов
|b И. А.
|c физик
|c старший научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук
|f 1954-
|g Иван Анисимович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28219
|
| 701 |
|
1 |
|a Курзина
|b И. А.
|c химик
|c доцент Томского политехнического университета, кандидат химических наук
|f 1972-
|g Ирина Александровна
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30829
|
| 701 |
|
1 |
|a Конева
|b Н. А.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20111213
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20130627
|g RCR
|
| 850 |
|
|
|a 63413507
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
