Формирование интерметаллидных слоев при высокоинтенсивной ионной имплантации; 6 Белорусско-Польский симпозиум "Вакуумная техника и технологии"
| Parent link: | 6 Белорусско-Польский симпозиум "Вакуумная техника и технологии".— 2001.— С. 291-293 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , , , , |
| Summary: | Представлены результаты эксперим. исследования по формированию интерметаллидов в поверхн. слое металлич. мишени при ионной имплантации. Для увеличения толщины ионно-легированного поверхн. слоя применена высокоинтенсивная ионная имплантация, позволяющая легировать поверхн. слои значительно большей толщины по сравнению с обычной ионной имплантацией. В качестве мишени был выбран чистый поликристаллич. никель, образцы которого облучались ионами алюминия на ионно-плазменном источнике "Радуга-5". Показано, что при высокоинтенсивной ионной имплантации в поверхн. слое алюминия толщиной 200 нм и более формируются мелкодисперсные интерметаллиды составов, близких к Ni3Al, NiAl, а также твердый раствор Al в Ni. Образование фаз идет в полном в соответствии с фазовой диаграммой Ni-Al. В ионно-легированном слое имеет место высокий уровень остаточных напряжений В фонде НТБ ТПУ отсутствует |
| Language: | Russian |
| Published: |
2001
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=599378 |