Исследование формирования элементного состава поверхностных слоев материалов при комбинированном воздействии импульсных пучков ионов различной мощности и плазменных потоков

Bibliographic Details
Parent link:	6 Белорусско-Польский симпозиум "Вакуумная техника и технологии": материалы 4 Международной конференции "Взаимодействие излучений с твердым телом", Минск, 3-5 окт., 2001. С. 279-281.— , 2001
Other Authors:	Петров А. В. Александр Васильевич, Рябчиков А. И. Александр Ильич, Степанов И. Б. Игорь Борисович, Струц В. К. Василий Кузьмич, Полковникова Н. М., Толмачева В. Г., Усов Ю. П. Юрий Петрович, Шулепов И. В.
Summary:	Приведены результаты исследований некоторых процессов на различных этапах создания адгезионно-прочных покрытий и модифицированных слоев с использованием высокодозной имплантации и глубокого диффузионного внедрения элементов при импульсном энергетич. воздействии. Исследования проведены на установке, которая обеспечивает возможность комбинированной обработки материалов импульсными ионными пучками с плотностью мощности 103-108 Вт/см2. Установка включает в себя ускоритель мощных ионных пучков, источник импульсно-периодических пучков ионов металлов и потоков металлич. плазмы. В докладе приведено краткое описание и основные характеристики установки. Показана принципиальная возможность использования импульсных энергетич. воздействий мощных ионных пучков для интенсификации массопереноса и увеличения глубины легирования первоначально имплантированной примеси. Приведены результаты по формированию высококачественных тонких покрытий с широкими переходными слоями, определяющими их адгезионную прочность, с использованием метода комбинированной обработки с участием мощного ионного пучка В фонде НТБ ТПУ отсутствует
Language:	Russian
Published:	2001
Subjects:	труды учёных ТПУ
Format:	Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=599368