Исследование формирования элементного состава поверхностных слоев материалов при комбинированном воздействии импульсных пучков ионов различной мощности и плазменных потоков
| Parent link: | 6 Белорусско-Польский симпозиум "Вакуумная техника и технологии": материалы 4 Международной конференции "Взаимодействие излучений с твердым телом", Минск, 3-5 окт., 2001. С. 279-281.— , 2001 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , , , , |
| Summary: | Приведены результаты исследований некоторых процессов на различных этапах создания адгезионно-прочных покрытий и модифицированных слоев с использованием высокодозной имплантации и глубокого диффузионного внедрения элементов при импульсном энергетич. воздействии. Исследования проведены на установке, которая обеспечивает возможность комбинированной обработки материалов импульсными ионными пучками с плотностью мощности 103-108 Вт/см2. Установка включает в себя ускоритель мощных ионных пучков, источник импульсно-периодических пучков ионов металлов и потоков металлич. плазмы. В докладе приведено краткое описание и основные характеристики установки. Показана принципиальная возможность использования импульсных энергетич. воздействий мощных ионных пучков для интенсификации массопереноса и увеличения глубины легирования первоначально имплантированной примеси. Приведены результаты по формированию высококачественных тонких покрытий с широкими переходными слоями, определяющими их адгезионную прочность, с использованием метода комбинированной обработки с участием мощного ионного пучка В фонде НТБ ТПУ отсутствует |
| Language: | Russian |
| Published: |
2001
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=599368 |