|
|
|
|
| LEADER |
00000naa0a2200000 4500 |
| 001 |
599368 |
| 005 |
20250417104155.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\tpu\23387
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\tpu\23386
|
| 090 |
|
|
|a 599368
|
| 100 |
|
|
|a 20130625d2001 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Исследование формирования элементного состава поверхностных слоев материалов при комбинированном воздействии импульсных пучков ионов различной мощности и плазменных потоков
|f А. В. Петров [и др.]
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 3 назв.
|
| 330 |
|
|
|a Приведены результаты исследований некоторых процессов на различных этапах создания адгезионно-прочных покрытий и модифицированных слоев с использованием высокодозной имплантации и глубокого диффузионного внедрения элементов при импульсном энергетич. воздействии. Исследования проведены на установке, которая обеспечивает возможность комбинированной обработки материалов импульсными ионными пучками с плотностью мощности 103-108 Вт/см2. Установка включает в себя ускоритель мощных ионных пучков, источник импульсно-периодических пучков ионов металлов и потоков металлич. плазмы. В докладе приведено краткое описание и основные характеристики установки. Показана принципиальная возможность использования импульсных энергетич. воздействий мощных ионных пучков для интенсификации массопереноса и увеличения глубины легирования первоначально имплантированной примеси. Приведены результаты по формированию высококачественных тонких покрытий с широкими переходными слоями, определяющими их адгезионную прочность, с использованием метода комбинированной обработки с участием мощного ионного пучка
|
| 333 |
|
|
|a В фонде НТБ ТПУ отсутствует
|
| 463 |
|
|
|t 6 Белорусско-Польский симпозиум "Вакуумная техника и технологии"
|o материалы 4 Международной конференции "Взаимодействие излучений с твердым телом", Минск, 3-5 окт., 2001
|v С. 279-281
|d 2001
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 701 |
|
1 |
|a Петров
|b А. В.
|c специалист в области электротехники
|c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук
|f 1939-
|g Александр Васильевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27884
|
| 701 |
|
1 |
|a Рябчиков
|b А. И.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1950-
|g Александр Ильич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22006
|
| 701 |
|
1 |
|a Степанов
|b И. Б.
|c физик
|c заведующий лабораторией Центра исследования свойств материалов Томского политехнического университета, доктор технических наук
|f 1968-
|g Игорь Борисович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\26466
|
| 701 |
|
1 |
|a Струц
|b В. К.
|c специалист в области неразрушающего контроля
|c старший научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук
|f 1941-
|g Василий Кузьмич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\29379
|
| 701 |
|
1 |
|a Полковникова
|b Н. М.
|
| 701 |
|
1 |
|a Толмачева
|b В. Г.
|
| 701 |
|
1 |
|a Усов
|b Ю. П.
|c российский ученый, электротехник
|c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук
|f 1937-
|g Юрий Петрович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\19875
|
| 701 |
|
1 |
|a Шулепов
|b И. В.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20111213
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20130625
|g RCR
|
| 850 |
|
|
|a 63413507
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
