MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 599335
005 20241205112658.0
010 |a 5-94372-018-9 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\tpu\23352 
035 |a RU\TPU\book\261036 
090 |a 599335 
100 |a 20130617d2002 k||y0rusy50 ba 
101 0 |a eng  |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 101yy 
181 0 |a i   |b  e  
182 0 |a n 
183 0 |a nc  |2 RDAcarrier 
200 1 |a 6th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows: 23-28 September, 2002, Tomsk, Russia  |d [6 Международная конференция по модификации материалов пучками частиц и плазменными потоками]  |z rus  |e proceedings  |f Nuclear Physics Institute Tomsk Polytechnic University (TPU) : Institute of High-Current Electronics SD RAS ; edited by G. A. Mesyats, S. D. Korovin, A. I. Ryabchikov 
203 |a Текст  |b визуальный  |c непосредственный 
210 |a Tomsk  |c Kursiv  |d 2002 
215 |a 693 p.  |c il. 
283 |a volume  |2 RDAcarrier 
300 |a In memory of Academician of Russian Academy of Sciences Sergey P. Bugaev 
320 |a Autor index: p. 687-693 
517 1 |a 6 Международная конференция по модификации материалов пучками частиц и плазменными потоками.  |z rus 
606 1 |a Плазма  |x Физика  |9 67703 
606 1 |a Материалы  |x Обработка  |9 61098 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
610 1 |a твердые тела 
610 1 |a модификация 
610 1 |a покрытия 
610 1 |a нанесение 
610 1 |a заряженные частицы 
610 1 |a плазменные источники 
610 1 |a магнетронное распыление 
610 1 |a вакуумная обработка 
610 1 |a микросекундные электронные пучки 
610 1 |a модификация 
610 1 |a лучевые технологии 
610 1 |a плазменные нанотехнологии 
610 1 |a конференции 
610 1 |a английский язык 
675 |a 533.9(063)  |v 4 
675 |a 620.22(063)  |v 4 
702 1 |a Mesyats  |b G. A.  |c russian physicist  |c academican, vice-president of RAS  |c graduate of Tomsk Polytechnic Institute  |f 1936-  |g Gennady Andreyevich  |4 340 
702 1 |a Korovin  |b S. D.  |4 340 
702 1 |a Ryabchikov  |b A. I.  |c Professor of Tomsk Polytechnic University, Doctor of physical and mathematical sciences  |c physicist  |f 1950-  |g Aleksandr Ilyich  |4 340 
712 0 2 |a Tomsk Polytechnic University  |4 570  |9 23443  |b Nuclear Physics Institute 
712 0 2 |a Sibirian Branch of the Russian Academy of Sciences  |b Institute of High-Current Electronics   |4 570  |9 23961 
712 1 2 |a International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows  |c Conference  |d 6  |e Tomsk  |f 2002  |4 570 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20130614 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20130617  |g RCR 
942 |c BK